半導體產業

半導體產業的密封件應用

半導體產業的密封件應用

半導體產業

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在半導體產業中,密封件的材料純度與尺寸精度直接影響晶圓良率與設備稼動率。力成具備 FFKM(全氟橡膠)及 FKM(氟橡膠)等高階材料的選配與加工能力,可針對耐強腐蝕製程氣體、低逸氣等應用需求提供材質建議與樣品評估。無論是設備商的初期開發或既有密封件的替代尋源,力成工程與品保團隊均可作為可靠的技術溝通窗口,共同探討適合的密封解決方案。


與力成一同守護晶圓製程的每一道密封防線

力成具備 FFKM(全氟橡膠)及 FKM(氟橡膠)等高階材料的選配與加工能力,此類材料以優異的化學惰性與低逸氣特性,廣泛應用於半導體設備的密封需求。力成工程與品保團隊可依客戶提供的規格與應用條件,協助進行材質評估與樣品確認,作為切入半導體供應鏈的合作起點。

特點:
.FFKM / FKM 全氟橡膠材料供應能力
.低逸氣特性
.耐強腐蝕氣體(HF、Cl₂、NF₃ 等)
.可追溯批次品質記錄
.工程與品保團隊支援材質評估與樣品確認

半導體相關應用:
.Slit Valve 閘閥密封件
.其他設備管路密封元件

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開槽閥(Slit Valve)通常安裝在 真空腔 的入口處,用來控制晶圓在腔室內的進出以及氣體流動。這個零件會安裝在半導體設備的核心部位,與真空環境的管道和腔室相連接。 想像它是在設備的中心位置,負責保持真空密封,防止外界氣體進入或內部氣體洩漏。

細節

力成公司簡介

力成密封元件股份有限公司是台灣一家專業在密封件產業的製造服務商。成立於西元1983年並擁有超過40年的油封, 密封, 橡膠零件, 橡膠, 橡膠環, 客製化密封件製造經驗, 力成總是可以達到客戶各種品質要求。