半導体産業
半導体産業
半導体産業において、シーリングコンポーネントの材料の純度と寸法精度は、ウエハーの歩留まりと設備の稼働時間に直接影響します。 NIYOKは、FFKM（パーフルオロエラストマー）やFKM（フルオロエラストマー）を含む先進材料の材料選定と加工能力を提供し、高腐食性プロセスガスや低ガス放出に対する耐性を必要とするアプリケーション向けに材料の推奨とサンプル評価を行うことができます。 初期段階の機器開発や既存のシールの交換品調達に関わらず、NIYOKのエンジニアリングおよびQAチームは、適切なシーリングソリューションを共に探る信頼できる技術的連絡先として機能します。
NIYOK あなたのウエハプロセスにおけるすべての重要なシーリングラインを保護します。
NIYOKは、FFKM（パーフルオロエラストマー）およびFKM（フルオロエラストマー）の材料選定と加工能力を提供します。これらの材料は、優れた化学的惰性と低いガス放出特性で認識されており、半導体機器のシーリング用途で広く使用されています。お客様から提供された仕様とアプリケーション要件に基づき、当社のエンジニアリングおよびQAチームは、半導体サプライチェーンに入るための出発点として、材料評価とサンプル確認をサポートできます。
主な特徴:
．FFKM / FKM パーフルオロエラストマー材料供給能力
．低ガス放出特性
．高腐食性ガス（HF、Cl₂、NF₃など）への耐性
．トレース可能なバッチ品質記録
．材料評価とサンプル確認のためのエンジニアリングおよびQAチームのサポート
半導体アプリケーション:
．スリットバルブゲートシール
．ガス供給システムバルブシール
．ウェットクリーンタンクシール
．その他の設備パイプラインシーリングコンポーネント
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カスタムスリットバルブ（半導体部品）
半導体部品、工具および機械部品 スリットバルブは通常、真空チャンバーの入口に設置され、ウエハの出入りやガスの流れを制御します。このコンポーネントは半導体装置のコアセクションに取り付けられ、真空システムのパイプラインやチャンバーに接続されています。装置の中央に位置し、真空シールを維持し、外部のガスが侵入したり内部のガスが漏れたりするのを防ぐ役割を担っていると考えることができます。
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